@article{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00001295, author = {河東田, 隆 and 西田, 謙 and 牧田, 寛 and 平木, 昭夫 and 加納, 剛太}, issue = {1}, journal = {高知工科大学紀要}, month = {Mar}, pages = {79--86}, title = {多結晶シリコンの高品質化と低温形成 : 高性能ディスプレイの実現を目指して}, volume = {1}, year = {2004} }