@article{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00001405, author = {神戸, 宏 and 宮地, 正之 and 廣瀬, 真美}, issue = {1}, journal = {高知工科大学紀要}, month = {Dec}, pages = {153--160}, title = {ウェハボンディングによるGe/Siヘテロ接合形成とフォトダイオード特性}, volume = {5}, year = {2008} }