@article{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00001515,
 author = {川原村, 敏幸 and 王, 大鵬 and 古田, 守},
 issue = {1},
 journal = {高知工科大学紀要},
 month = {Jul},
 pages = {37--53},
 title = {ミストを利用した薄膜作製技術「ミストCVD法」の開発と「a-IGZO/AlOx 構造を有する酸化物 TFTの大気圧形成」},
 volume = {9},
 year = {2012}
}