@misc{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00001947,
 author = {本多, 慶太},
 month = {Mar},
 note = {高知工科大学, 修士論文.},
 title = {Arビーム照射によるSiC表面の3次元隆起構造の微細加工},
 year = {2020}
}