@misc{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00000340,
 author = {羽場, 真一},
 month = {Mar},
 note = {2004-05-21 WEB公開, 高知工科大学博士(工学) 平成16年3月22日授与 (甲第30号), 高知工科大学, 博士論文.},
 title = {半導体集積回路プロセス用研磨剤の開発},
 year = {2004}
}