@misc{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00000361,
 author = {森田, 達夫},
 month = {Mar},
 note = {2002-10-04 WEB公開, 高知工科大学博士(工学) 平成14年3月20日授与 (甲第10号), 高知工科大学, 博士論文.},
 title = {半導体薄膜形成のためのリモートラインソースプラズマ CVD装置の研究開発及びそれに基づく起業実践},
 year = {2002}
}