@misc{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00000375,
 author = {金子, 哲弥},
 month = {Mar},
 note = {2004-05-21 WEB公開, 高知工科大学博士(工学) 平成16年3月22日授与 (甲第29号), 高知工科大学, 博士論文.},
 title = {高速イオンビームを用いた次世代集積回路用材料評価法の研究},
 year = {2004}
}