@misc{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00000402,
 author = {松村, 義之},
 month = {Mar},
 note = {高知工科大学博士(工学) 平成20年3月21日授与 (甲第127号), 高知工科大学, 博士論文.},
 title = {CMP技術による厚膜Cu配線の精密微細加工に関する研究},
 year = {2008}
}