@misc{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00000508,
 author = {新田, 浩士},
 month = {Mar},
 note = {高知工科大学博士(工学) 平成22年3月19日授与 (甲第179号), 高知工科大学, 博士論文.},
 title = {次世代デバイス基板及び配線の高速、高精度CMP技術の研究開発},
 year = {2010}
}