@phdthesis{oai:kutarr.kochi-tech.ac.jp:00000574, author = {針谷, 達}, month = {Mar}, note = {高知工科大学, 博士論文.}, school = {高知工科大学}, title = {プラズマプロセスによるDLC薄膜の成膜とナノ構造化に関する研究}, year = {2015} }