| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2011-12-26 |
| タイトル |
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タイトル |
共振型マイクロ加速度センサに関する研究（第1報）－基本設計と20 倍拡大モデルによる原理検証－ |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
acceleration sensor |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
resonance |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
frequency |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
miniaturization |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
MEMS |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
PZT |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
佐藤, 健夫
寒川, 潮
楠川, 量啓
河田, 耕一
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
Sensors that detect the mechanical quantity are shifting from the bulk type to the MEMS type for the miniaturization, the cost reduction, and high reliability.1)∼4) Regarding the acceleration sensor, the resistance type and the capacitance type made by the MEMS technology have been commercialized. However, the sensitivity is still a weak point to those sensors. It is considered that there is an advantage of sensitivity in the resonance type because the mechanical resonance is used.
In this study, we clarified the relation between sensitivity and the size concerning the newly designed resonance type acceleration sensor by the numerical simulation. Next we evaluated the sensor characteristics with the 20-times enlarged model. As a conclusion, it was confirmed that the resonance type had a potential for realizing the high sensitivity micro acceleration sensor. |
| 内容記述 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
JOI JST.JSTAGE/jjspe/74.1051 |
| 書誌情報 |
精密工学会誌
巻 74,
号 10,
p. 1051-1055,
発行日 2008-10
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0912-0289 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN1003250X |
| DOI |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
10.2493/jjspe.74.1051 |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 出版者 |
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出版者 |
精密工学会 |
jjspe_74_10_1051.pdf (1.6 MB)
