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  1. 学術雑誌論文

共振型マイクロ加速度センサに関する研究(第1報)-基本設計と20 倍拡大モデルによる原理検証-

http://hdl.handle.net/10173/763
http://hdl.handle.net/10173/763
5b193d92-294c-45fb-801c-0d8801f45f28
名前 / ファイル ライセンス アクション
jjspe_74_10_1051.pdf jjspe_74_10_1051.pdf (1.6 MB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2011-12-26
タイトル
タイトル 共振型マイクロ加速度センサに関する研究(第1報)-基本設計と20 倍拡大モデルによる原理検証-
言語
言語 jpn
キーワード
主題Scheme Other
主題 acceleration sensor
キーワード
主題Scheme Other
主題 resonance
キーワード
主題Scheme Other
主題 frequency
キーワード
主題Scheme Other
主題 miniaturization
キーワード
主題Scheme Other
主題 MEMS
キーワード
主題Scheme Other
主題 PZT
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 佐藤, 健夫

× 佐藤, 健夫

佐藤, 健夫

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寒川, 潮

× 寒川, 潮

寒川, 潮

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楠川, 量啓

× 楠川, 量啓

楠川, 量啓

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河田, 耕一

× 河田, 耕一

河田, 耕一

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Sensors that detect the mechanical quantity are shifting from the bulk type to the MEMS type for the miniaturization, the cost reduction, and high reliability.1)∼4) Regarding the acceleration sensor, the resistance type and the capacitance type made by the MEMS technology have been commercialized. However, the sensitivity is still a weak point to those sensors. It is considered that there is an advantage of sensitivity in the resonance type because the mechanical resonance is used.
In this study, we clarified the relation between sensitivity and the size concerning the newly designed resonance type acceleration sensor by the numerical simulation. Next we evaluated the sensor characteristics with the 20-times enlarged model. As a conclusion, it was confirmed that the resonance type had a potential for realizing the high sensitivity micro acceleration sensor.
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 JOI JST.JSTAGE/jjspe/74.1051
書誌情報 精密工学会誌

巻 74, 号 10, p. 1051-1055, 発行日 2008-10
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0912-0289
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN1003250X
DOI
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.2493/jjspe.74.1051
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
出版者
出版者 精密工学会
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Ver.1 2023-05-15 13:43:16.427186
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