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アイテム
直流アーク放電イオンプレーティング法における飛来粒子種とそのエネルギー解析及び酸化物半導体設計応用
https://doi.org/10.32149/0002000254
https://doi.org/10.32149/0002000254091a9724-77fa-422b-8aa4-1a5f566655f1
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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博士論文全文 (11.5 MB)
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論文内容の要旨 (293 KB)
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審査結果の要旨 (171 KB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2025-04-18 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 直流アーク放電イオンプレーティング法における飛来粒子種とそのエネルギー解析及び酸化物半導体設計応用 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.32149/0002000254 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 著者 |
北見, 尚久
× 北見, 尚久
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| bibliographic_information |
p. 1, 発行日 2025-03-18 |
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| その他の言語のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Diagnostics for flying partic l e species and their energy distributions in ion plating using direct current arc discharge and its applicati on to oxide semiconductor design | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 高知工科大学 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| ja | ||||||||
| 山本 哲也 | ||||||||
| 学位名 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| item_4_degree_grantor_63 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位授与機関名 | 高知工科大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2025-03-18 | |||||||
| dissertation_number | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第429号 | |||||||
