WEKO3
アイテム
光電子放出を用いたパルス放電プラズマ CVD による炭素薄膜の合成
https://doi.org/10.32149/00002376
https://doi.org/10.32149/00002376f1624d33-3d3d-4de1-90cd-7042cb6720f6
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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m_1235125.pdf (4.8 MB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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公開日 | 2021-06-30 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | 光電子放出を用いたパルス放電プラズマ CVD による炭素薄膜の合成 | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
資源タイプ | thesis | |||||||
ID登録 | ||||||||
ID登録 | 10.32149/00002376 | |||||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||||
著者 |
野村, 恵吾
× 野村, 恵吾
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書誌情報 | 発行日 2021-03 | |||||||
その他のタイトル | ||||||||
その他のタイトル | Synthesis of Carbon Thin Films by Pulse Discharge Plasma CVD Using Photoelectron Emission | |||||||
出版者 | ||||||||
出版者 | 高知工科大学 | |||||||
アドバイザー | ||||||||
八田 章光 |