WEKO3
アイテム
光電子放出を用いたパルス放電プラズマ CVD による炭素薄膜の合成
https://doi.org/10.32149/00002376
https://doi.org/10.32149/00002376f1624d33-3d3d-4de1-90cd-7042cb6720f6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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m_1235125.pdf (4.8 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2021-06-30 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 光電子放出を用いたパルス放電プラズマ CVD による炭素薄膜の合成 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.32149/00002376 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| 著者 |
野村, 恵吾
× 野村, 恵吾
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| 書誌情報 | 発行日 2021-03 | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Synthesis of Carbon Thin Films by Pulse Discharge Plasma CVD Using Photoelectron Emission | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 高知工科大学 | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 八田 章光 | ||||||||
