WEKO3
アイテム
ミストCVD法による酸化アルミニウム薄膜の作製とその絶縁特性に関する研究
https://doi.org/10.32149/00002425
https://doi.org/10.32149/000024252884228b-cefd-412b-8628-6bc7a4ab8434
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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ｍ_1245022.pdf (3.4 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2025-03-31 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | ミストCVD法による酸化アルミニウム薄膜の作製とその絶縁特性に関する研究 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.32149/00002425 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| 著者 |
福江, 雅
× 福江, 雅
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| 書誌情報 | 発行日 2022-03 | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Study on the fabrication and insulation characteristics of AlOx thin film by Mist CVD | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 高知工科大学 | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 川原村 敏幸 | ||||||||
