WEKO3
アイテム
イオンビーム照射による 4H-SiC の表面粗さの変化
https://doi.org/10.32149/00002559
https://doi.org/10.32149/000025593e6bf268-e32c-43f3-b5c8-3cab66148542
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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m_1255069.pdf (2.1 MB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2023-06-30 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | イオンビーム照射による 4H-SiC の表面粗さの変化 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
資源タイプ | thesis | |||||
ID登録 | ||||||
ID登録 | 10.32149/00002559 | |||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||
著者 |
森本, 桂矢
× 森本, 桂矢 |
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書誌情報 | 発行日 2023-03 | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Modification of surface roughness of 4H-SIC by ion beam irradiation | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 高知工科大学 | |||||
アドバイザー | ||||||
値 | 百田 佐多生 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2023-03-17 |