WEKO3
アイテム
イオンビーム照射による 4H-SiC の表面粗さの変化
https://doi.org/10.32149/00002559
https://doi.org/10.32149/000025593e6bf268-e32c-43f3-b5c8-3cab66148542
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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m_1255069.pdf (2.1 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2023-06-30 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | イオンビーム照射による 4H-SiC の表面粗さの変化 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.32149/00002559 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
| 著者 |
森本, 桂矢
× 森本, 桂矢
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| 書誌情報 | 発行日 2023-03 | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Modification of surface roughness of 4H-SIC by ion beam irradiation | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 高知工科大学 | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 百田 佐多生 | ||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2023-03-17 | |||||||
