WEKO3
アイテム
Modification of morphologies and mechanical properties of Si crystal by low fluence ion beam irradiation in sub-micrometer scale
http://hdl.handle.net/10173/1274
http://hdl.handle.net/10173/1274a10abc08-6c8f-4ecd-aaf9-92b6b7dbf9a6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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博士論文全文 (5.3 MB)
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審査結果の要旨 (199.8 kB)
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論文内容の要旨 (102.5 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2015-06-30 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Modification of morphologies and mechanical properties of Si crystal by low fluence ion beam irradiation in sub-micrometer scale | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
GUO, Xiaowei
× GUO, Xiaowei |
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| 引用 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 高知工科大学, 博士論文. | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2015-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | 低照射量のイオンビームによってシリコン結晶表面に生じるナノメートルサイズの形状及び機械的特性の変化 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 高知工科大学 | |||||
| アドバイザー | ||||||
| 値 | 百田,佐多生 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 26402 | |||||
| 学位授与機関名 | 高知工科大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2015-03-20 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第268号 | |||||
