WEKO3
アイテム
多価イオンビームによる露光技術
http://hdl.handle.net/10173/748
http://hdl.handle.net/10173/748dd4b4cbe-1f3e-4f35-b529-3b9c41dfea64
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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JSAT_53_6_348.pdf (3.5 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-10-31 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 多価イオンビームによる露光技術 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | highly charged ion | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | ion beam lithography | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | micro-nano fabrication | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||
| 著者 |
百田, 佐多生
× 百田, 佐多生
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| 著者別名 | ||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||
| 識別子 | 551 | |||||||
| 姓名 | MOMOTA, Sadao | |||||||
| 書誌情報 |
砥粒加工学会誌 巻 53, 号 6, p. 348-351, 発行日 2009-06-01 |
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| ISSN | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||
| 収録物識別子 | 0914-2703 | |||||||
| 書誌レコードID | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
| 収録物識別子 | AN10192823 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Highly charged ion beams applied to exposure process | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 砥粒加工学会 | |||||||
