WEKO3
アイテム
多価イオンビームによる露光技術
http://hdl.handle.net/10173/748
http://hdl.handle.net/10173/748dd4b4cbe-1f3e-4f35-b529-3b9c41dfea64
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
JSAT_53_6_348.pdf (3.5 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-10-31 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 多価イオンビームによる露光技術 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | highly charged ion | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | ion beam lithography | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | micro-nano fabrication | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
百田, 佐多生
× 百田, 佐多生 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 551 | |||||
| 姓名 | MOMOTA, Sadao | |||||
| 書誌情報 |
砥粒加工学会誌 巻 53, 号 6, p. 348-351, 発行日 2009-06-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0914-2703 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10192823 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Highly charged ion beams applied to exposure process | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 砥粒加工学会 | |||||
