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  1. 学術雑誌論文

多価イオンビームによる露光技術

http://hdl.handle.net/10173/748
http://hdl.handle.net/10173/748
dd4b4cbe-1f3e-4f35-b529-3b9c41dfea64
名前 / ファイル ライセンス アクション
JSAT_53_6_348.pdf JSAT_53_6_348.pdf (3.5 MB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2011-10-31
タイトル
タイトル 多価イオンビームによる露光技術
言語
言語 jpn
キーワード
主題Scheme Other
主題 highly charged ion
キーワード
主題Scheme Other
主題 ion beam lithography
キーワード
主題Scheme Other
主題 micro-nano fabrication
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 百田, 佐多生

× 百田, 佐多生

百田, 佐多生

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 551
姓名 MOMOTA, Sadao
書誌情報 砥粒加工学会誌

巻 53, 号 6, p. 348-351, 発行日 2009-06-01
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0914-2703
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN10192823
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
その他のタイトル
その他のタイトル Highly charged ion beams applied to exposure process
出版者
出版者 砥粒加工学会
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Ver.1 2023-05-15 13:43:27.683388
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