WEKO3
アイテム
高速イオンビームを用いた次世代集積回路用材料評価法の研究
http://hdl.handle.net/10173/227
http://hdl.handle.net/10173/22732970851-b1ec-4055-bb30-ee5ad8446d21
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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1046003227.pdf (121.6 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2007-08-21 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 高速イオンビームを用いた次世代集積回路用材料評価法の研究 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 著者 |
金子, 哲弥
× 金子, 哲弥
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| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 2004-05-21 WEB公開 | |||||||
| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 高知工科大学博士(工学) 平成16年3月22日授与 (甲第29号) | |||||||
| 引用 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 高知工科大学, 博士論文. | |||||||
| 書誌情報 | 発行日 2004-03 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Development of Analytical System using Swift Ion Beam and its Application to Characterization of Next Generation ULSI Materials | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 綿森,道夫 | ||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 26402甲第29号 | |||||||
