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  1. 学位論文(博士)

高速イオンビームを用いた次世代集積回路用材料評価法の研究

http://hdl.handle.net/10173/227
http://hdl.handle.net/10173/227
32970851-b1ec-4055-bb30-ee5ad8446d21
名前 / ファイル ライセンス アクション
1046003227.pdf 1046003227.pdf (121.6 MB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2007-08-21
タイトル
タイトル 高速イオンビームを用いた次世代集積回路用材料評価法の研究
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
資源タイプ thesis
著者 金子, 哲弥

× 金子, 哲弥

金子, 哲弥

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内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 2004-05-21 WEB公開
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 高知工科大学博士(工学) 平成16年3月22日授与 (甲第29号)
引用
内容記述タイプ Other
内容記述 高知工科大学, 博士論文.
書誌情報 発行日 2004-03
著者版フラグ
出版タイプ AM
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
その他のタイトル
その他のタイトル Development of Analytical System using Swift Ion Beam and its Application to Characterization of Next Generation ULSI Materials
アドバイザー
綿森,道夫
学位授与番号
学位授与番号 26402甲第29号
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Ver.1 2023-05-15 13:36:10.318064
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