WEKO3
アイテム
プラズマプロセスによるDLC薄膜の成膜とナノ構造化に関する研究
http://hdl.handle.net/10173/1279
http://hdl.handle.net/10173/1279134a6ca9-7ef9-4612-a635-0fb29e71546e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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博士論文全文 (2.2 MB)
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審査結果の要旨 (206.1 kB)
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論文内容の要旨 (178.1 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2015-06-30 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | プラズマプロセスによるDLC薄膜の成膜とナノ構造化に関する研究 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| 著者 |
針谷, 達
× 針谷, 達
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| 引用 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 高知工科大学, 博士論文. | |||||||
| 書誌情報 | 発行日 2015-03 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| その他のタイトル | ||||||||
| その他のタイトル | Deposition and Nanostructuring of DLC Films by Plasma Processes | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 高知工科大学 | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 八田,章光 | ||||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 26402 | |||||||
| 学位授与機関名 | 高知工科大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2015-03-20 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第273号 | |||||||
