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  1. 学術雑誌論文

Surface deformation of Ar+ ion collision process via molecular dynamics simulation with comparison to experiment

http://hdl.handle.net/10173/609
http://hdl.handle.net/10173/609
c7607bd5-3b6a-4bb8-a9b9-ce9b103ee515
名前 / ファイル ライセンス アクション
JAP_106_4_044910.pdf JAP_106_4_044910.pdf (243.3 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2010-12-27
タイトル
タイトル Surface deformation of Ar+ ion collision process via molecular dynamics simulation with comparison to experiment
言語
言語 eng
キーワード
主題Scheme Other
主題 argon
キーワード
主題Scheme Other
主題 ion-surface impact
キーワード
主題Scheme Other
主題 molecular dynamics method
キーワード
主題Scheme Other
主題 noncrystalline structure
キーワード
主題Scheme Other
主題 silicon
キーワード
主題Scheme Other
主題 deformation
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Satake, Shin-ichi

× Satake, Shin-ichi

Satake, Shin-ichi

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Momota, Sadao

× Momota, Sadao

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Yamashina, Shun

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Shibahara, Masahiko

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Taniguchi, Jun

× Taniguchi, Jun

Taniguchi, Jun

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Molecular dynamics simulations of Ar ion collision on a Si surface using an optimized potential function were carried out in the case of the acceleration voltages of 50 keV for Ar ions. A hillock structure was formed by the Ar ion impact on the Si surface. The height of the structure calculated by the simulations corresponded to those of the experiments. The height of the structure was found to be proportional to the fluence of Ar ions. The amorphous structural region was expanded by the progress of the interface region between the amorphous structure and the crystalline structure with increasing the fluence in the depth direction.
書誌情報 Journal of Applied Physics

巻 106, 号 4, p. 044910-1-044910-4, 発行日 2009-08-26
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0021-8979
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00693547
DOI
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 10.1063/1.3204640
権利
権利情報 Copyright 2009 American Institute of Physics. This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. The following article appeared in J. Appl. Phys. 106, 044910 (2009) and may be found at http://link.aip.org/link/?jap/106/044910
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
出版者
出版者 American Institute of Physics
関係URI
識別子タイプ URI
関連識別子 http://link.aip.org/link/?jap/106/044910
関連名称 http://link.aip.org/link/?jap/106/044910
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