| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2011-07-29 |
| タイトル |
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タイトル |
重イオンビームを用いたナノメートルサイズの３次元加工 |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 著者 |
百田, 佐多生
平尾, 孝
古田, 守
川原村, 敏幸
谷口, 淳
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| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4169 |
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姓名 |
MOMOTA, Sadao |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4170 |
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姓名 |
HIRAO, Takashi |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4171 |
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姓名 |
FURUTA, Mamoru |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4172 |
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姓名 |
KAWAHARAMURA, Toshiyuki |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4173 |
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姓名 |
TANIGUCHI, Jun |
| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
重イオンビームは、それ自体が興味深い研究対象であると同時に、強力なツールでもある。特に1MeV以下の低エネルギー重イオンビームは、その照射効果を利用した加工･改質を行うためのツールとして半導体製造をはじめとする広い分野に応用されている。照射効果の一つであるスパッタリング現象は、表面の平滑化や薄膜形成に利用されてきた。この手法に物質との反応性に富む多価イオンを利用すると、加工･製造プロセスの効率化が期待できる。また、結晶材料にイオンビームを照射した場合、スパッタリングの初期過程で数nm~数十nmの隆起現象が確認されている。この現象は、ナノメートルサイズの3次元構造体を形成する新たな加工法の実現を示唆している。これらの加工手法を確立するためには、スパッタリングや隆起現象の基礎データに基づいて加工特性を評価する必要がある。本論文では、高知工科大学に建設した多価重イオンビーム照射装置を用いて行った、スパッタリングと隆起現象に関する研究を紹介する。 |
| 書誌情報 |
高知工科大学紀要
巻 8,
号 1,
p. 89-94,
発行日 2011-07-15
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1348-4842 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA11954573 |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| その他のタイトル |
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その他のタイトル |
3-Dimensional Fabrication in Nano-meter Scale by using Heavy Ion Beams |
| 出版者 |
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出版者 |
高知工科大学 |
rb8_089-094.pdf (842.1 kB)
