| Item type |
紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) |
| 公開日 |
2012-10-17 |
| タイトル |
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タイトル |
ミストを利用した薄膜作製技術「ミストCVD法」の開発と「a-IGZO/AlOx 構造を有する酸化物 TFTの大気圧形成」 |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
departmental bulletin paper |
| 著者 |
川原村, 敏幸
王, 大鵬
古田, 守
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| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4291 |
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姓名 |
Kawaharamura, Toshiyuki |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4292 |
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姓名 |
Wang, Dapeng |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
4293 |
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姓名 |
Furuta, Mamoru |
| 書誌情報 |
高知工科大学紀要
巻 9,
号 1,
p. 37-53,
発行日 2012-07-31
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
1348-4842 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA11954573 |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| その他のタイトル |
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その他のタイトル |
Development of the Novel Thin Film Fabrication Technology using Mist,“Mist CVD”and Oxide TFT with a-IGZO/AlOx Stack Grown under Atmosphere by the Mist CVD |
| 出版者 |
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出版者 |
高知工科大学 |
rb9_037_053.pdf (4.6 MB)
