WEKO3
アイテム
ミストを利用した薄膜作製技術「ミストCVD法」の開発と「a-IGZO/AlOx 構造を有する酸化物 TFTの大気圧形成」
http://hdl.handle.net/10173/907
http://hdl.handle.net/10173/9070d811449-db74-4983-b8dd-f1fefde9e173
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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rb9_037_053.pdf (4.6 MB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
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公開日 | 2012-10-17 | |||||||||||
タイトル | ||||||||||||
タイトル | ミストを利用した薄膜作製技術「ミストCVD法」の開発と「a-IGZO/AlOx 構造を有する酸化物 TFTの大気圧形成」 | |||||||||||
言語 | ||||||||||||
言語 | jpn | |||||||||||
資源タイプ | ||||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
著者 |
川原村, 敏幸
× 川原村, 敏幸
× 王, 大鵬
× 古田, 守
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著者別名 | ||||||||||||
姓名 | Kawaharamura, Toshiyuki | |||||||||||
著者別名 | ||||||||||||
姓名 | Wang, Dapeng | |||||||||||
著者別名 | ||||||||||||
姓名 | Furuta, Mamoru | |||||||||||
書誌情報 |
高知工科大学紀要 巻 9, 号 1, p. 37-53, 発行日 2012-07-31 |
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ISSN | ||||||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
収録物識別子 | 1348-4842 | |||||||||||
書誌レコードID | ||||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||
収録物識別子 | AA11954573 | |||||||||||
著者版フラグ | ||||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
その他のタイトル | ||||||||||||
その他のタイトル | Development of the Novel Thin Film Fabrication Technology using Mist,“Mist CVD”and Oxide TFT with a-IGZO/AlOx Stack Grown under Atmosphere by the Mist CVD | |||||||||||
出版者 | ||||||||||||
出版者 | 高知工科大学 |